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等离子体发生器脉冲直流电源

产品名称: 等离子体发生器                                      
产品类型:直流电源系统   / 脉冲直流电源系统
生产商/品牌:Advanced Energy ( AE )   

1. 直流电源系统:经过现场验证的 Advanced Energy Precision PowerTM 解决方案集顶级控制、无与伦比的电弧处理和尖端的匹配技术于一体。我们的发生器具有卓越的综合能力,赋予您全新制造工艺和优势。

2. 脉冲直流电源系统:提高沉积率,改善薄膜平整度。利用 Advanced Energy 功能全面的脉冲直流电源系统拓展工艺创新。最大限度减少电弧,提高沉积率,改善薄膜平整度和堆积密度。

 

Advanced Energy 等离子体发生器

 

                              
      正在寻找可靠、精确的直流电源解决方案?我们提供标准直流和脉冲直流电源选择。我们的电源拥有全面庞大的功能集和可靠的性能表现,可广泛应用于几乎各大工业应用,包括半导体制造、平板显示、玻璃镀膜、薄膜制造等等。

Advanced Energy 产品均可接受期货订制,详情致电我司!

 
直流电源系统 包含以下系列:
 

 1. Ascent AMS 系列 Advanced Energy等离子体发生器直流电源系统在极端电弧条件下提供稳定功率输出获得重复性高的优质薄膜。

2. MDX系列 是一款小巧经济的电源,可实现低功率磁控溅射。作为一款重载工业设备,主要用于需要实现可靠、精密电源输出的低功率应用。

3. Pinnacle 系列 面向 <= 20 kW 工艺的最知名的直流电源,可生产优质薄膜,实现工艺效率的最大化。

4. Pinnacle 3000 专为精度和工艺可重复性要求极高的低功率应用而设计的坚固、紧凑型直流发电机。

5. 直流和脉冲直流 Solvix 专为实现先进的高科技涂层而设计的强大、协调式 Precision Power 电源。

脉冲直流电源系统
 

1. Ascent AP系列 等离子体发生器脉冲直流电源系统以紧凑的设计外形为单靶及双靶磁控溅射提供了无与伦比的等离子控制。Advanced Energy 专利脉冲技术可有效预防电弧,提高功率等级和提升产量。

2. Pinnacle Plus+系列 等离子体发生器 发生器以脉冲配置提供直流电源,适用于单磁控管反应溅射电介质薄膜,可通过反应溅射制备极其均匀的高质量电介质薄膜。

3. Arc-Bias Solvix系列 等离子体发生器脉冲直流电源系统,可将阴极电弧工艺的精度和生产率提升到新高度的电弧偏压解决方案,为先进的高科技镀膜设计。

 

品牌介绍

Advanced Energy 塑造并创新了电源的使用、输送和转换方式。

数十年来,Advanced Energy 一直致力于为全球客户提供卓越精密的电源产品。为任务关键型应用和工艺设备设计并制造先进精密的电源转换、测量和控制系统解决方案。

产品帮助客户在半导体设备、工业设备、生产设备、电信设备、数据中心计算系统和医疗护理设备等多种行业的复杂应用中不断实现创新。凭借广泛而深厚的专业积淀和触及全球的快速响应服务网络,力图通过紧密的合作伙伴关系来满足技术的快速发展、推动客户的增长并助力技术的未来。

 

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